máy đo tọa độ 3 chiều bao gồm ba thành phần chính:
- Cấu trúc chính bao gồm ba trục chuyển động. Vật liệu được sử dụng để chế tạo khung chuyển động đã thay đổi theo thời gian. Đá granit và thép đã được sử dụng trong các CMM đầu tiên. Ngày nay, tất cả các nhà sản xuất CMM lớn đều chế tạo khung từ các vật liệu như đá granit, hợp kim nhôm hoặc một số dẫn xuất và gốm để tăng độ cứng của trục Z cho các ứng dụng quét. Một số ít nhà chế tạo CMM ngày nay vẫn sản xuất CMM khung đá granit do yêu cầu của thị trường về động lực đo lường được cải thiện và xu hướng lắp đặt CMM bên ngoài phòng thí nghiệm chất lượng ngày càng tăng. Xu hướng quét ngày càng tăng cũng đòi hỏi trục Z của lập trình máy đo cmm phải cứng hơn và các vật liệu mới đã được giới thiệu như đá granit đen, gốm và silicon carbide.
- Một hệ thống thăm dò.
- Hệ thống thu thập và giảm dữ liệu — thường bao gồm bộ điều khiển máy, máy tính để bàn và phần mềm ứng dụng.

