Dưới đây là quy trình hiệu chuẩn máy đo tọa độ 3 chiều mà kỹ sư các hãng Hexagon, Zeiss, Mitutoyo thường sử dụng:
Bước 1 – Kiểm tra phòng đo
- Nhiệt độ 20°C ± 1°C
- Độ ẩm 40–60%
- Tránh gió, rung động
Bước 2 – Kiểm tra cơ khí
- Thanh trượt
- Bearing
- Đế granite
- Cáp đầu dò
- Màng hơi (với máy dùng air bearing)
Bước 3 – Kiểm tra cảm biến và phần mềm
- Kiểm tra lỗi axis
- Load firmware
- Test encoder scale
Bước 4 – Chuẩn hóa đầu dò
- Hiệu chuẩn ruby
- Kiểm tra module
- Căn chỉnh vector đo
Bước 5 – Kiểm tra độ lặp lại đầu dò (ISO 10360-5)
- Lấy 25–50 điểm trên quả cầu chuẩn.
Bước 6 – Kiểm tra đo chiều dài (ISO 10360-2)
- Dùng gauge block tại 4–7 vị trí trong không gian.
Bước 7 – Kiểm soát độ sai lệch
- Đánh giá MPE E0, E150, R0.
Bước 8 – Xuất chứng nhận hiệu chuẩn
máy scan 3d Bao gồm:
- Giá trị sai số
- Điều kiện phòng đo
- Dụng cụ chuẩn sử dụng (traceable)
- Thời hạn hiệu chuẩn

